【设备槪述】1.1设备目的：RECYCLE CLEAN1.2产品尺寸及carrier type：适用于6尺寸之晶圆(25片神机游戏) * 1神机游戏1.3操作流程：1.3.1手动设定参数1.3.2手动将神机游戏置于LOAD区1.3.3按下”启动”按钮，即自动开始预设定之工艺流程1.3.4完成后提示音提醒1.3.5至UNLOAD区手动将神机游戏取出九槽RCA清洗机用于各种硅晶圆的清洗详细资料来电咨询
全自动RCA清洗机
晶圆尺寸：
4~12寸 25pcs*1 or 2 cassette
槽体：
3酸/3水 or 4酸/4水 （可客制）
化学循环/加热控制/浓度控制/流量控制
酸/硷/有机..排风及排放分开排
化学药液：
CCSS or LCSS 供应 /自动混酸系统
可选回收或排放
配置：
CO2灭火装置/去静电产生器/摄像头
软件控制：
PC+PLC+GUI控制,可支持SECS GEM/EAP/FDS
可靠性:
Uptime≧95% MTBF≧500 hours
MTTR≦3 hours Breakage≦1/10000
標準工艺流程：（可客制）
Load →CC → 1# SPM → 2# HQDR →3# DHF → 4# QDR 5# SC-1 →6# QDR→7# SC-2 → 8# QDR → 9# Marangoni Dryer→ Unload
九槽RCA清洗机
用于各种硅晶圆的清洗
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