香格里拉娱乐登录官网平台

全自动香格里拉娱乐登录官网平台

晶圆尺寸：

4~12寸 25pcs*1 or 2 cassette

槽体：

去光阻清洗槽/IPA清洗槽/DI純水槽（可客制）

化学循环/加热控制/浓度控制/流量控制

超聲功能/酸/硷/有机..排风及排放分开排

化学药液：

CCSS or LCSS 供应 /自动混酸系统

可选回收或排放

配置：

CO2灭火装置/去静电产生器/摄像头

软件控制：

PC+PLC+GUI控制,可支持SECS GEM/EAP/FDS

可靠性:

Uptime≧95%    MTBF≧500 hours

MTTR≦3 hours  Breakage≦1/10000

標準工艺流程：（可客制）

Load →1#去光阻1 → 2#去光阻2 →3# 去光阻3 → 4# IPA 5# QDR → 6# Dryer→ Unload